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在電子元件製品(pǐn)的製造過程中,微粒子汙染(rǎn)對成品(pǐn)率有重(chóng)大影響,故應在過程中(zhōng)嚴格控製微粒子的(de)數量,遵守“不攜入、不發生(shēng)、不儲備、除去”四項基本原則以(yǐ)防止微粒子汙染。 淨化車間內的浮遊微粒子(zǐ)濃度,使用高性能的(de)過(guò)濾器(qì)即可容易達到零水(shuǐ)平,實際的生產現場(chǎng)由於(yú)作業者、機器、周(zhōu)邊機械的發塵及基板運送(sòng)時所接(jiē)觸(chù)的零件材料的(de)發塵等,在製造(zào)品周邊揚起了少許(xǔ)的微(wēi)粒子,因而造成了元件清潔麵的粒子汙染。
在淨化車間內(nèi)不攜入微粒子的方法有: 作(zuò)業員(yuán)進入淨化車間前,機台、零件攜入前應進(jìn)行清潔(jié)處理(lǐ); 進入(rù)淨化車間者在更(gèng)衣室(shì)要穿著不發塵、不產生靜(jìng)電的具特殊(shū)導電性纖維材質的(de)無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。 通過風淋室時利用高速幹淨空氣除去附(fù)在衣服表麵的粒子後,才能進入淨化車間。 機器及材料帶(dài)進淨化(huà)車間前,應盡可能在(zài)密封狀態下帶進淨化車間前室保(bǎo)養(yǎng)後用超純水擦拭,經風淋室吹淋後才進入淨化車間。 淨化車間中須全程穿戴(dài)密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣(qì)用小型fan於腰間。
在控製最大汙染源--人在淨化車間內的(de)微粒子發塵(chén)量的同時,也應控製第二大汙染源(yuán)—製造機台的發塵量。因物品在移動時,所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵,而物品在移動時(shí)也會(huì)有微粒子的發生。故為了控製發塵量達到最小限度應采(cǎi)取以下對策:
減少接觸剝(bāo)離發塵(chén)的動作形態;
采用磨耗發塵小的材質;
采用發塵小的(de)潤滑油;
機台應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
在最高等級的淨化車間中從天(tiān)花板到地麵,完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向(xiàng)下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全(quán)過濾空氣(qì)完全交換所計算(suàn)出來的數值。同時,空氣的流向也必須要有精確的控製才行。特別(bié)要保證氣流(liú)的流通路徑暢通無阻,因為在流通路(lù)徑中有障礙物的話,容易產生空氣空氣渦流而形(xíng)成空氣的滯留區(qū)域,使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排(pái)除而長時間漂流在淨化車間內,而一部(bù)分會附著在周邊機器設備的表(biǎo)麵而引起汙染。
控製氣流可防止微粒子累積,但對於帶(dài)電表麵的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電(diàn)吸附而引起的微粒附著,通(tōng)常在淨化車間內(nèi)會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對(duì)於製造品本身的帶電(diàn),則采用帶電程度很(hěn)少的搬送形態及接觸部(bù)品材料,並藉由除電裝置進行除電(diàn)。
在無法避免大量微粒子發生的機台中,為了(le)不讓淨化車間內產生微粒子,因此直接做(zuò)對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。針(zhēn)對排氣的對策如下:由於導入同量的外氣是必要(yào)的,但會伴隨大(dà)量的能源消耗。所以(yǐ)無法說是絕對理想的對策(cè)。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不(bú)僅僅是向淨化車間外排氣,而應采用(yòng)將(jiāng)除去粒(lì)子後的空氣再回流到淨(jìng)化(huà)車間內之對策。