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工(gōng)廠車間淨化工程(chéng)具(jù)有維(wéi)持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性(xìng)能主要作用在於控製產品(pǐn)如矽芯片等所接觸的(de)潔淨度及溫濕度,使產品在一個良好的環境空間中生產、製(zhì)造,它分為一下四個等級:
工廠車間淨化工程具有維持原先(xiān)所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能主要作用在(zài)於(yú)控製產品(pǐn)如矽芯(xīn)片等所接觸的潔淨度及溫濕度,使產品(pǐn)在一個良好的環境空間中生產、製造,它分為一下四個等級:
1、百級無塵車間0.5微米的最大(dà)容許粒子濃度小於3520(pc/m3),5微米的最大容許(xǔ)粒子濃度小於293(pc/m3)。
2、千級無塵車間(jiān)0.5微米的最大(dà)容許粒子濃度小於35200(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小於2930(pc/m3)。
3、萬級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小於352000(pc/m3),5微米的最大(dà)容許粒子濃度小於29300(pc/m3)。
4、十萬級無塵車間0.5微米的最大容許(xǔ)粒子濃度小於(yú)3520000(pc/m3),微米的最大容許粒子濃(nóng)度小於293000(pc/m3)。